超声波扫描显微镜是一种利用超声波为传播媒介的无损检测设备。通过发射高频超声波传递到样品内部，在经过两种不同材质之间界面时，由于不同材质的声阻不同，对声波的吸收和反射程度的不同，进而采集的反射或穿透的超声波能量信息或相位信息的变化来检查样品内部出现的分层、裂缝或者空洞等缺陷。

SAT应用范围：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、分立器件、SMT贴片、粘片、芯片、IC集成电器、晶闸管等

检测内容：

1、材料内部裂纹

2、分层缺陷

3、空洞、气泡、空隙

4、内部结构检测、断层检测

5、焊接质量检测